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丹東正芯微電子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的邊境城市遼寧丹東。是一家歷史悠久的生產(chǎn)、加工各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備備品的高新民營(yíng)企業(yè),是半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的中堅(jiān)力量。產(chǎn)品應(yīng)用于美國(guó)、日本、臺(tái)灣等地區(qū)的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化備件。公司有多位長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體行業(yè)的工作人員,聘請(qǐng)業(yè)內(nèi)行家作為本公司顧問(wèn),并與多家科研單位建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。


新聞資訊
  • 離子源弧光室的故障診斷需從多方面入手。首先,觀察運(yùn)行時(shí)的放電狀態(tài),若出現(xiàn)異常的電弧閃爍或不穩(wěn)定現(xiàn)象,需進(jìn)一步檢查電極損耗情況。電極作為離子源弧光室的重要組件,長(zhǎng)時(shí)間使用后會(huì)因高溫和離子轟擊產(chǎn)生磨損,通過(guò)特定檢測(cè)設(shè)備測(cè)量電極尺寸和表面狀態(tài),可判斷是否需要更換。
  • 電子槍的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是關(guān)鍵,合理的電極布局能確保電子束的穩(wěn)定性與方向性,它作為蒸發(fā)臺(tái)配件的重要部分,其性能優(yōu)劣至關(guān)重要。
  • 在日常維護(hù)中,定期清潔注入機(jī)離子源燈絲能有效清除表面附著的雜質(zhì)與沉積物。這些雜質(zhì)可能來(lái)自離子束攜帶的物質(zhì)沉積,或是工作環(huán)境中的污染物,若不及時(shí)清理,會(huì)影響燈絲的電子發(fā)射效率,甚至縮短其使用壽命。
  • 在注入機(jī)離子源配件的質(zhì)量檢測(cè)中,尺寸精度檢測(cè)是基礎(chǔ)環(huán)節(jié)。通過(guò)高精度的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,可對(duì)配件的關(guān)鍵尺寸進(jìn)行精確測(cè)量,確保其符合設(shè)計(jì)要求。若配件尺寸存在偏差,可能影響離子束的匯聚與傳輸,進(jìn)而干擾注入工藝。
  • 半導(dǎo)體設(shè)備精密配件制造工藝涵蓋多個(gè)復(fù)雜環(huán)節(jié)。在材料選擇階段,需依據(jù)配件使用場(chǎng)景,挑選具備高純度、高強(qiáng)度、耐高溫等特性的材料,確保半導(dǎo)體設(shè)備配件能在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。

離子源弧光室

蒸發(fā)臺(tái)配件

蒸發(fā)臺(tái)坩堝

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