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丹東正芯微電子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的邊境城市遼寧丹東。是一家歷史悠久的生產(chǎn)、加工各種半導體工藝設備備品的高新民營企業(yè),是半導體設備國產(chǎn)化的中堅力量。產(chǎn)品應用于美國、日本、臺灣等地區(qū)的半導體設備國產(chǎn)化備件。公司有多位長期從事半導體行業(yè)的工作人員,聘請業(yè)內(nèi)行家作為本公司顧問,并與多家科研單位建立長期合作關(guān)系。


新聞資訊
  • 材料特性是影響蒸發(fā)臺坩堝使用壽命的基礎(chǔ)因素。不同材質(zhì)的坩堝,其耐高溫、耐腐蝕性能存在差異。例如,采用高純石墨材質(zhì)制作的蒸發(fā)臺坩堝,具有良好的高溫穩(wěn)定性,但在某些強氧化性鍍膜材料使用場景下,可能出現(xiàn)被侵蝕的情況,從而縮短使用壽命。
  • 在進行蒸發(fā)臺行星鍋性能測試前,需做好充分準備工作。檢查行星鍋的機械結(jié)構(gòu),確保轉(zhuǎn)動部件無松動、磨損;校準相關(guān)測量儀器,如溫度傳感器、真空計等,保證測試數(shù)據(jù)的準確性。
  • 在光學鍍膜工藝中,離子源弧光室的技術(shù)突破首先體現(xiàn)在鍍膜均勻性的提升上。通過優(yōu)化離子源弧光室的結(jié)構(gòu)設計和內(nèi)部電場分布,能夠?qū)崿F(xiàn)離子束的穩(wěn)定輸出和均勻發(fā)散,從而使光學薄膜在基片表面的沉積更加均勻,有效改善了薄膜的光學性能。
  • 安裝蒸發(fā)臺配件時,常見誤區(qū)之一是忽視配件清潔。在安裝前若未對配件進行充分清潔,殘留的雜質(zhì)、灰塵等可能進入設備內(nèi)部,干擾蒸發(fā)過程,甚至造成部件損壞。
  • 材料選擇是注入機離子源燈絲質(zhì)量控制的首要環(huán)節(jié)。需選用耐高溫、抗腐蝕能力強且具備良好導電性的材料,如高純鎢絲等,確保燈絲在高負荷工作狀態(tài)下保持性能穩(wěn)定。

離子源弧光室

蒸發(fā)臺配件

蒸發(fā)臺坩堝

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