注入機(jī)離子源配件還能提高芯片制造的效率。減少生產(chǎn)過程中的調(diào)整和糾錯(cuò)時(shí)間,大大提升了芯片的產(chǎn)出速度。
如果注入機(jī)離子源配件出現(xiàn)問題,可能會(huì)導(dǎo)致離子注入不均勻、能源不穩(wěn)定等情況,嚴(yán)重影響芯片的質(zhì)量和良率。
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